박막기술
| 기술명 | a-Si & SiON 박막형성 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ a-Si film은 에너지 분야에 활용되어 새롭게 쓰이고 있는 물질로 최신 연구에 맞추어 공정 개발 ㆍ SION film은 기존 SiO2/SiNx film의 정착된 굴절률에서 벗어나 새롭게 film 조성에 따른 굴절률을 변화시킬수 있어 새로운 투명막 소재로 연구 개발 및 상용화 되고 있음. |
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| 결과 | ㆍ a-Si film 개발 - Stress : -200 ~ -250Mpa - 굴절률(R.I.) : 3.3677 ㆍ SION film 개발 - Stress : < 50Mpa - 굴절률(R.I.) : 1.495 ~ 1.635 |
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| 사진 |
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| 기술적가치 | ㆍ 대면적 고효율 적층형 태양전지 개발의 가능성을 제시함. ㆍ 광학 소자의 절연막 층의 굴절율 조절을 통해 Absortion, Reflection 양의 조절이 가능함. |
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| 활동분야 | ㆍ 산업용 태양에너지 분야 ㆍ 산업용 투명막/절연막 분야 |
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| 기술관련문의 | ㆍ 공정서비스지원실 이용수 주임 (031-546-6318, yongsu.lee@kanc.re.kr) | ||
