ㆍ자기 홀 (Hall) 센서는 홀 효과를 이용하여 자기장을 효과적으로 감지하는 센서로서 자기장 측정뿐 아니라 물체의 위치 및 회전 및 전류등의 측정이 가능하여 사무기기 및 가전제품 모터 제어, 세탁기, 냉장고 등의 도어 스위치, 전류,전력 측정 등 광범위하게 활용되고 있으며, 최근 IT 관련 기기의 발전으로 소형 카메라 모듈의 손떨림 보정 등서도 많이 활용되고 있음.
ㆍ다양한 센서분야에 적용되고 있는 갈륨비소 기반 반도체 소자의 성능은 소자를 구성하는 반도체 에피층의 결정품질에 의해 결정되므로, 이를 위한 고품위 갈륨비소 기반 화합물 반도체 에피 웨이퍼의 성장 기술 개발이 필수적임. 본 공정은 갈륨비소 기반 2차원 전자가스(2-dimensional electron gas)를 이용한 Hall 센서 에피 웨이퍼 제작을 위한 공정 기술로 다양한 구조의 고감도 센서 개발을 위한 에피 웨이퍼로 활용 가능함.
ㆍ기술원에서 개발된 GaAs 자기 홀 센서 에피 성장 기술 및 소자공정기술을 바탕으로 센서공정 플랫폼을 구축하였고, 이를 통해 국내 외 다양한 센서 개발을 위한 연구를 지원하고자 함.
 
ㆍGaAs 기반 2DEC-type 자기 홀 센서 에피 구조 및 성장된 6인치 에피 웨이퍼 이미지


 
ㆍ자기 홀 센서 에피 specification