본문 바로가기

소자기술

게시글
기술명 적색 마이크로 LED 소자 제조기술
요약 ㆍ 마이크로 LED는 기존의 LED 보다 저전력, 경량, 고효율이 가능하며, 디스플레이에 적용 시 슬림화, Flexible이 가능하기 때문에 소형화된 광원의 필요성이 대두됨.
ㆍ 본 개발된 적색 마이크로 LED의 전사를 통해 최종적으로 Flexible LED 구현을 위한 추가적인 연구개발을 수행 중임.
결과 ㆍ Chip size : 60 × 40 um, 110 × 50 um
ㆍ Luminous Efficacy : 2 lm/W (@ 0.5 mA)
ㆍ Dominant Wavelength : 630 nm
ㆍ Forward Voltage : 2.5 V (@ 2 mA)
ㆍ Reverse Current : 1 uA (@ -5 V)
사진

ㆍ Fabrication procedure

Red epi-layer, p-Metal 형성, MESA 형성, a-Metal형성 Metal RTA, 일부 p+ Contract etch Isolation Passivation PAD형성 그림

 

ㆍ 소자 및 발광 image

110 × 50 um 크기의 Red u-LED 소자

60 × 40 um 크기의 Red u-LED 소자

110 × 50 um 크기의 Red u-LED 소자

60 × 40 um 크기의 Red u-LED 소자

Red u-LED 소자의 발광 Image

2인치급 Red u-LED 소자 wafer

Red u-LED 소자의 발광 Image

2인치급 Red u-LED 소자 wafer

 

 

기술적가치 ㆍ Wearable, flexible 디스플레이 전자 기기의 핵심 광원으로써, 기 개발된 광원을 더욱 소형화하고 (under 50 um), 발광 파장의 다변화를 도모함으로써 가치를 극대화할 수 있음.
활동분야 ㆍ Flexible Display용 광원
ㆍ 의료용 인체 장기 광자극용 광원
기술관련문의 ㆍ 광소자개발실 박형호 책임 (010-4538-0815, hyeongho.park@kanc.re.kr)