장비안내
장비명 | 담당자 | 연락처 | |
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리프트오프용 이빔증착기 | 고유민 | ||
MOCVD VII (N) | 송근만 | ||
PECVD III | 이동근 | ||
Grinder | 이용수 | ||
E-beam evaporator III (R&D) | 김현웅 | ||
E-beam evaporator I (R&D) | 김현웅 | ||
Batch Sputter (ITO) | 박범두 | ||
Cluster Sputter (Metal) | 박범두 | ||
E-beam evaporator II(foundry) | 박범두 | ||
E-beam evaporator I(foundry) | 박범두 |