장비안내
| 장비명 | 담당자 | 연락처 | |
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| E-beam evaporator III | 김현웅 |  |
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| MOCVD VII (N) | 송근만 | |
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| PECVD III | 이병오 | |
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| E-beam evaporator III (R&D) | 김현웅 | |
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| E-beam evaporator I (R&D) | 김현웅 | |
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| Batch Sputter (ITO) | 이근우 | |
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| Cluster Sputter (Metal) | 이동근 | |
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| E-beam evaporator II(foundry) | 강세민 | |
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| E-beam evaporator I(foundry) | 강세민 | |
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| MOCVD Ⅵ | 송근만 | |
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