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공지

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반도체 소자제작 실습교육 교육생 모집 안내


반도체 소자제작 실습교육

교육생 모집 안내

■ 교 육 명 : 반도체 소자제작 기술교육

 

■ 교육목표 : 반도체 소자를 직접 제작할 수 있는 공정기술을 습득하여 산업현장에서 활용할 수 있는 실무역량을 증대시킬 수 있도록 전문 인력을 양성

 

■ 교육기간 : 2023년 4월 25일(화) ~ 4월 28일(금) (총 32시간, 1일 8시간)

 

■ 교육장소 : 한국나노기술원 6층 교육장 & FAB (수원시 영통구 광교로 109)

 

■ 교육대상 및 모집인원

1) 교육대상 : 반도체/디스플레이 관련 중소ㆍ중견기업 재직자

2) 모집인원 : 12명(선착순 마감) * 예비자 적정 인원으로 추가 모집 예정

 

■ 교 육 비 : 무료

 

■ 신청기간 및 방법

1) 신청기간 : 2023년 3월 21일(화) ~ 4월 18일(화)

* 8명 이상 신청 시에는 4월 18일 이전이라도 신청 기간이 종료됩니다.

2) 신청방법 : 한국나노기술원(www.kanc.re.kr) 홈페이지 접속 > 공지사항 > 교육과정 확인 후 교육신청서/사전조사 설문지 작성/첨부하여 E-mail 신청, 접수(training@kanc.re.kr)

 

■ 문의처

1) 교육과정 문의 : 한국나노기술원 박주한 연구원 (T. 031-546-6233/E.-mail  training@kanc.re.kr)

 

■ 기타 안내사항

 - 교육 신청서와 함께 반드시 재직증명서와 개인정보보호 수집동의서(별첨)를 제출하여야 합니다.

 - 인원이 적을 경우, 해당 교육과정은 개설되지 않을 수 있습니다.

 - 중식은 무료로 제공되나, 주차요금은 지원되지 않으므로 대중교통 이용바랍니다.

 - 교육생 선발 여부는 교육 시작일 기준으로 2~3일 전까지 개별 안내 예정입니다. (이메일 및 문자)

 - 본 과정은 실습을 포함한 4일 과정으로 업무 일정을 충분히 고려하여 신청해주시기 바라며, 사전 연락 없이 불참 시 소속 기업의 교육 신청이 제한될 수 있습니다.

 

■ 세부 교육 내용

교육과정명

반도체 소자제작 기술교육

교육 목표

반도체 소자를 직접 제작할 수 있는 공정기술을 습득하여 산업현장에서 활용할 수 있는 실무역량을 증대시킬 수 있도록 전문 인력을 양성

교육 내용

 - 단위 공정을 이해하고 장비를 활용하는 실습 교육

 - 장비를 활용하여 모듈공정(CMOS Metal)을 제작하는 실습 교육

교육 대상

반도체 소자제작 응용기술력이 요구되는 산업체 재직자

교육 인원

12명(2개조)

활용 장비

Aligner, Stepper, Track, Sputter, PR Coater, PECVD, ICP Etcher, Wet Station, Profiler, Microscope, DC Prober 등

교육 기간

28시간

 

* 세부 일정

일 정

주 제

교육내용

1일차

09:00~10:00

오리엔테이션

교육 과정 안내 및 조 편성

10:00~11:00

팹 출입 안전교육

·클린룸의 필요성, 원리 등의 이해, 클린룸 내 준수사항

·Fab 내 사용 유해물질(가스,케미컬 등) 이해

·비상 발생 시 행동 요령

11:00~12:00

모듈공정실습 소개

·CMOS Metal 공정의 이해

12:00~13:00

중 식

13:00~18:00

반도체 공정기술 이론교육

·주요 8대 공정 실무기술 이해

·단위공정 장비 활용 기술 이해

2일차

09:00~12:00

절연막 증착

·PE-CVD 증착 공정

12:00~13:00

중 식

13:00~15:00

oxide CMP

·CMP 장비 활용 Oxide CMP 실습

15:30~17:30

Metal 증착

·Sputter 활용 Metal 증착 실습

17:30~18:00

질의응답

·학습내용 질의 응답

09:00~12:00

Hard Mask 증착

·Track 활용한 Develop 공정 실습

3일차

12:00~13:00

중 식

13:00~15:00

Metal Photo

·KrF Stepper 활용 Photo 공정 실습

·Track 활용한 Develop 공정 실습

15:30~17:30

CD 측정/

Overlay 측정

·CD-SEM 활용 CD 측정 실습

Overlay 측정기를 활용한 실습

17:30~18:00

질의응답

·학습내용 질의 응답

09:00~12:00

Metal Etching

·Metal Etcher 활용 실습

4일차

12:00~13:00

중 식

13:00~15:00

PR strip

·wet sation 활용 PR remove 공정 실습

15:30~17:00

DC 측정

·DC prover 장비 활용 전기적 특성 측정 실습

17:00~18:00

교육 평가 및 설문

·교육 평가 및 설문지 작성, 수료

※ 위 일정은 교육 여건 및 상황 등에 따라 변동될 수 있습니다.

 

■ 교육장 오시는 길

한국나노기술원 : www.kanc.re.kr 접속 > 기술원 소개 > 찾아오시는 길

- 주소 : 경기도 수원시 영통구 광교로 109 (동수원 IC에서 10분거리)