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대관예약현황

2026.6

신청시작 신청시작일 신청종료 신청종료일 교육시작 교육시작일 교육종료 교육종료일

달력
일 월 화 수 목 금 토

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교육시작PECVDⅢ, W Plasma CVD(8“ W & 절연박막증착 장비)

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07

08

신청종료(기관)8“ Auto Wet Station Acid/Organic Wet Station(8“ 세정/습식식각)

신청종료(학생)8“ Auto Wet Station Acid/Organic Wet Station(8“ 세정/습식식각)

신청종료(학생)Organic/Acid/Alkali Wet Bench(Station), SPM Wet Station, Acid Wet Station(산업화)(세정/습식식각)

신청종료(기관)Organic/Acid/Alkali Wet Bench(Station), SPM Wet Station, Acid Wet Station(산업화)(세정/습식식각)

09

교육시작ICP EtcherⅣ, Surface Profiler, 3D laser Profiler(6“ Si DRIE 장비)

10

교육시작Manual AlignerⅠ, Spin CoaterⅡ, Hot PlateⅠ, Develop Wet Bench, Organic Wet Bench(조각 패턴형성)

11

교육시작ICP EtcherⅢ(6“ Insulator Dry Etch 장비)

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교육시작Organic/Acid/Alkali Wet Bench(Station), SPM Wet Station, Acid Wet Station(산업화)(세정/습식식각)

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교육시작UV-VIS-NIR Spectrophotometer 분석

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교육시작Wafer Bonder, Wafer Bonding System(8“ 본딩 장비)

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교육시작8“ Auto Wet Station Acid/Organic Wet Station(8“ 세정/습식식각)

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교육시작HDP CVD(8“ 절연박막증착/Gap Fill 장비)

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