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		01 교육시작XPS 분석	02 교육시작FTIR 분석	03 신청시작(학생)SiC etcher (4” SiC dry etch 장비) 신청시작(기관)SiC etcher (4” SiC dry etch 장비) 신청시작(학생)Mini furnace, Furnace(확산 장비) 신청시작(기관)Mini furnace, Furnace(확산 장비) 신청종료(기관)Manual alignerⅠ, Spin coaterⅡ/, Hot plateⅠ, Develop wet bench, / Organic wet bench(조각 패턴형성) 신청종료(학생)Manual alignerⅠ, Spin coaterⅡ/, Hot plateⅠ, Develop wet bench, / Organic wet bench(조각 패턴형성) 교육시작HDP-CVD, Optical thickness, Stress measurement (절연박막증착 및 측정 장비)	04	05
06	07	08	09	10 신청종료(기관)Load-pull 측정 교육 신청종료(학생)Load-pull 측정 교육 신청종료(학생)Endura / Evatec sputter (8“ 금속박막증착비) 신청종료(기관)Endura / Evatec sputter (8“ 금속박막증착비) 신청종료(기관)DC & CV 측정 교육 신청종료(학생)DC & CV 측정 교육	11	12
13 신청종료(기관)Insulator/Si etcher (8“ Insulator dry etch 장비) 신청종료(학생)Insulator/Si etcher (8“ Insulator dry etch 장비) 신청종료(학생)XRF (8“ inspection 장비) 신청종료(기관)XRF (8“ inspection 장비)	14	15 교육시작Manual alignerⅠ, Spin coaterⅡ/, Hot plateⅠ, Develop wet bench, / Organic wet bench(조각 패턴형성)	16 교육시작XRF (8“ inspection 장비)	17 신청종료(학생)SiC etcher (4” SiC dry etch 장비) 신청종료(기관)SiC etcher (4” SiC dry etch 장비) 신청종료(학생)Mini furnace, Furnace(확산 장비) 신청종료(기관)Mini furnace, Furnace(확산 장비) 교육시작Insulator/Si etcher (8“ Insulator dry etch 장비)	18	19
20	21	22 교육시작DC & CV 측정 교육	23 교육시작Endura / Evatec sputter (8“ 금속박막증착비)	24 교육시작Load-pull 측정 교육	25	26
27	28	29 교육시작Mini furnace, Furnace(확산 장비)	30 교육시작SiC etcher (4” SiC dry etch 장비)