본문 바로가기

공지

공지

home 공지 공지

[신규장비] 고출력 반도체소자 직류측정 시스템


신규장비 고출력 반도체소자 직류측정 시스템
[한국나노기술원 시험분석실]

 

 

한국나노기술원에 도입된 고출력 반도체소자 직류측정 시스템을 소개합니다.
고출력 반도체소자 직류측정 시스템은 현재 국내외에서 활발히 연구되고 있는 고출력 통신 소자 및 자동차 전장용 소자 등의 분야에 사용되는 고 전압, 고 전류 소자의 전기적 특성을 측정하고 분석하는데 유용하게 이용되고 있습니다. 
본 시스템은 3월부터 이용할 수 있습니다.

 

○ 장비명
 (국문) 고출력 반도체소자 직류측정 시스템
 (영문) DC Measurement System for High Power Devices
○ 제조사 : FormFactor, Keysight Technologies
○ 모  델 : TESLA 200, B1505A

 

신규장비 고출력 반도체소자 직류측정 시스템 이미지

  ○ Specifications
     - Wafer size : Max. 8 inch (200 mm)
     - Max. handling voltage : 3,000 V
     - Max. handling current : 20 A
     - Thermal chuck Temp. range
    : 25 ℃ ~ 300 ℃
     - Multi frequency AC impedance measurement capability for CV (C-V, C-t, C-F, etc…)
     - Frequency range : 1 kHz ~ 5 MHz
     - Automated wafer-level measurements of devices


  ○ Application
     - DC measurement for GaN & SiC based devices (HEMT, MOSFET etc…)
     - Electrical reliability test (EM, TDDB etc…)

 

관련 문의 : 한국나노기술원 시스템소자공정개발실 박덕수 책임연구원
            031-546-6321 (deoksoo.park@kanc.re.kr)

 

목록