본문 바로가기

공지

공지

home 공지 공지

[신규장비] 대구경 고해상도 집속이온빔 시스템

  • 등록일 2020.04.07
  • 조회수 2581
  • 첨부파일 파일이 없습니다.

신규장비 대구경 고해상도 집속이온빔 시스템
[한국나노기술원 시험분석실]

 

 한국나노기술원에 도입된 대구경 고해상도 집속이온빔 시스템을 소개합니다.
대구경 고해상도 집속이온빔 시스템은 최대 8 inch wafer full 로딩이 가능하며, High stability Schottky thermal field emitter 방식으로 고해상도 단면분석 및 20 nm 이하의 미세패턴 TEM 시편제작이 가능합니다. 
 또한 성분분석(EDS) 및 후방산란전자 회절패턴 분석(EBSD)은 Ion Beam으로 Milling과 동시에 분석하고 3D software를 이용하여 재구성이 가능합니다.  
 본 시스템은 4월부터 이용할 수 있습니다.

 

 

○ 장비명
 (국문) 집속이온빔 시스템
 (영문) Dual Beam Focused Ion Beam system
○ 제조사 : Thermofisher
○ 모  델 : Helios 5 UX

 

대구경 고해상도 접속이온빔 시스템 이미지

  ○ Specifications

    ㆍWafer size : Max. 8 inch (200 mm)
    ㆍResolution : -0.6 nm @ 15kV 
                       -2.5 nm @ 30kV (Ion)
    ㆍGIS : Carbon Dep, Platinum Dep, Insulator    Dep
    ㆍEDS (EDAX사) : Resolution <129eV (Mn Kα)
    ㆍEBSD (EDAX사) : Resolution 640x480 pixels (CCD)
    ㆍDetector : STEM,  BSE,  DBS

  ○ Application

    ㆍCross section milling and view (3D)
    ㆍTEM sample preparation (Cross, Plan)
    ㆍNano Pattern etching and depo
    ㆍUtilizing EDS, EBSD for elemental analysis
    ㆍCircuit Edit 

관련 문의 : 한국나노기술원 시험분석실 곽상희 연구원
               031-546-6050 (sanghee.kwak@kanc.re.kr)

 

목록