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신규장비 서비스 개시 안내 (웨이퍼 후면세정기, 급속열처리 장치)
- 등록일 2021.09.23
- 조회수 1346
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첨부파일
신규장비 안내(웨이퍼 후면세정기, 급속열처리 장치).hwp
신규장비 서비스 개시 안내 (웨이퍼 후면세정기, 급속열처리 장치)
신규장비가 도입되어 아래와 같이 팹서비스를 시작하오니 많은 활용바랍니다.
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장비명 |
코드명 |
이용수가 |
담당자 |
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웨이퍼 후면세정기 (Wafer Backside Cleaner) |
FS-BC10 |
100,000원/기본료 + 30,000원/wf |
황선용 (T.031-546-6338) |
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급속열처리 장치 (Rapid Thermal Process System) |
FS-RT10 |
70,000원/wf |
김창환 (T.031-546-6336) |
[붙임] 장비별 상세정보 1부.