패터닝기술
| 기술명 | 20nm 급 미세 전극 패턴 형성 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ 스마트기기의 발전과 사물인터넷의 영향으로 각종 센서소자들의 개발이 활발 하게 이루어 지고 있음 | ||
| 결과 | ㆍ 20nm 급의 전극 패턴 형성 기술 개발 | ||
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| 기술적가치 | ㆍ Lift-off 공정을 통한 금속 패턴 형성으로 저온공정 및 plasma damage가 없는 미세 전극 패턴 공정이 가능 함. | ||
| 활동분야 | ㆍ 바이오 센서 분야 ㆍ 광학 센서 분야 |
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| 기술관련문의 | ㆍ 시스템반도체공정개발실 김창환 선임 (031-546-6336, changhwan.kim@kanc.re.kr) | ||
