식각기술
| 기술명 | 건식식각을 이용한 적색LED 표면 roughening 공정 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ GRED LED의 wet을 이용한 rougheness 공정의 낮은 재현성을 개선하고자 기존의 wet 방식이 아닌 ICP etcher를 이용한 Dry 방식의 공정을 통해 rougheness 재현성 구현함. | ||
| 결과 | ㆍ Etch profile : 61.1˚, width : 540.1nm ㆍ Roughening depth : 330.4nm ㆍ 기존의 wet 방식과 비교하여 최대광출력 값은 비슷한 결과를 얻었으며 uniformity 측면에서는 dry etcher를 이용하여 roughening을 진행한 것이 우수함. |
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| 사진 |
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| 기술적가치 | |||
| 활동분야 | ㆍ LED roughening 공정 | ||
| 기술관련문의 | ㆍ 양자소자개발실 임웅선 선임 (031-546-6235, woongsun.lim@kanc.re.kr) | ||
