본문 바로가기

에피기술

게시글
기술명 고감도 GaAs 기반 자기 홀 센서 소자 공정플랫폼 기술
요약 ㆍ자기 홀 (Hall) 센서는 홀 효과를 이용하여 자기장을 효과적으로 감지하는 센서로서 자기장 측정뿐 아니라 물체의 위치 및 회전 및 전류등의 측정이 가능하여 사무기기 및 가전제품 모터 제어, 세탁기, 냉장고 등의 도어 스위치, 전류, 전력 측정 등 광범위하게 활용되고 있으며, 최근 IT 관련 기기의 발전으로 소형 카메라 모듈의 손떨림 보정 등서도 많이 활용되고 있음.
결과
사진

ㆍ자기 홀 (Hall) 센서는 홀 효과를 이용하여 자기장을 효과적으로 감지하는 센서로서 자기장 측정뿐 아니라 물체의 위치 및 회전 및 전류등의 측정이 가능하여 사무기기 및 가전제품 모터 제어, 세탁기, 냉장고 등의 도어 스위치, 전류ㆍ전력 측정 등 광범위하게 활용되고 있으며, 최근 IT 관련 기기의 발전으로 소형 카메라 모듈의 손떨림 보정 등서도 많이 활용되고 있음.
ㆍ다양한 센서 분야에 적용하고 최적의 홀 센서 소자 구현을 위하여, 소자의 크기, L/W ratio 등을 변화시킴
ㆍ기술원에서 개발된 GaAs 자기 홀 센서 소자공정 및 에피 성장 기술을 바탕으로 센서공정 플랫폼을 구축하였고, 이를 통해 국내ㆍ외 다양한 센서 개발을 위한 연구를 지원하고자 함.
 
ㆍ6인치 GaAs 기반 자기 홀 센서 공정 웨이퍼 및 소자 이미지



ㆍ자기 홀 센서 specification

번호 Property Unit Value orf Range
1 Die size 230 × 230
2 LIN / LOUT 103
3 LIN/WIN ratio   1.3 ~ 2.0
4 Hall voltage mV 70 ~ 100


ㆍ자기 홀 센서 홀 전압 및 옵셋 전압 특성

 

기술적가치
활동분야 ㆍ자기 홀 센서
기술관련문의 ㆍ시스템반도체공정개발실 정해용 선임 (031-546-6331, haeyong.jeong@kanc.re.kr)
ㆍ융합공정기술본부 박경호 책임 (031-546-6214, kyungho.park@kanc.re.kr)