에피기술
기술명 | AlGaN/GaN 기반 HEMT 센서 플랫폼 기술 (KANCSensGaNTM) | ||
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요약 | ㆍ AlGaN/GaN HEMT는 기반 물질인 GaN의 우수한 고온 내구성과 화학적 안정성 때문에 극한환경용 센서로 적합함. 또한 전자농도가 높은 2-DEG로 인해 우수한 감도 특성을 가짐. | ||
결과 | |||
사진 | < AlGaN/GaN HEMT 센서 소개 >
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기술적가치 | |||
활동분야 | ㆍ 가스 센서, 바이오 센서 ㆍ 고온 및 극한환경용 센서 |
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기술관련문의 | ㆍ 시스템반도체공정개발실 조주영 선임 (031-546-6326, chuyoung.cho@kanc.re.kr) |