소자기술
| 기술명 | MEMS구조 필름 제조 공정 기술 | ||
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| 요약 | ㆍ 센서분야와 파워소자&에너지분야 시장이 활발해지며, 새로운 소재로 전환하여 여러 분야에 활용도가 높아짐. ㆍ MEMS 구조는 바이오/센서/파워 소자에 적용 가능한 핵심 소자로 전 세계적으로 많은 선행 연구 및 상용화가 진행 중임. |
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| 결과 | ㆍ Si/Oxidation/Poly-Si/Nitride 구조 - 추가 응용 : Si/Nitride/Poly-Si/Nitride 구조 ㆍ Film Stress 조절에 따른 film의 처짐 현상을 줄임 |
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| 기술적가치 | ㆍ MEMS구조를 활용한 바이오 센서 / 파워 소자 / 에너지 분야 등 MEMS 구조가 쓰이는 소자 관련 공정 서비스에 활용 할 수 있음 | ||
| 활동분야 | ㆍ 의료용 바이오 센서 분야 ㆍ 산업용 필터 센서 분야 ㆍ 산업용 파워 소자 분야 ㆍ 산업용 에너지 분야 |
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| 기술관련문의 | ㆍ 공정서비스지원실 이용수 주임 (031-546-6318, yongsu.lee@kanc.re.kr) | ||
