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공지사항


  경기도 내(또는 거주) 양자·AI·반도체 기술 분야에 관심 있는 대학(원)생 및 졸업자(미취업자), 재직자(연구원 포함) 중 E-Beam Lithography를 지속적으로 사용하여 연구에 활용하실 분을 대상으로 양자(Quantum)소자 구현을 위한 연구장비(Ebeam Lithography) 사용 교육 모집을 다음과 같이 공고 하오니 많은 참여 바랍니다.    

네이버폼 링크 -  https://form.naver.com/response/Q0mVikNjmRLO8hVdEqqiqA

2026년 양자·AI·반도체 융합산업 전문인력양성

[장 비] 양자(Quantum) 소자 구현을 위한
연구장비 사용 교육 - Ebeam Lithography -


□ 교 육 명 : 양자·AI·반도체 융합산업 전문인력양성을 위한 E-beam Lithography 사용 교육

□ 교육대상 : 경기도 내(또는 거주) 양자·AI·반도체 기술 분야에 관심 있는 대학(원)생 및 졸업자(미취업자), 재직자(연구원포함)중 E-Beam Lithography를 지속적으로 사용하여 연구에 활용하실 분

□ 교육과정 : 1회 × 3일 × 4명 5회로 총 20명,
             이론과 실습 병행, EBL 교육 장비 : JBX-8100FS(JEOL사)

	일    정				주    제					교  육    내  용
1일차		10:00 ~ 12:00		공정 이론					E-beam Lithography 기본 원리 및 장비 특징 이해
		13:30 ~ 17:30		패턴 및 Wafer 준비			Resist coating / Wafer Loading/Unloading 실습
												Job deck 작성 Array 개념 이해

2일차		10:00 ~ 12:00		Job 작성 및	 Beam Calibration	Job deck 작성 / Beam Current 설정, Beam calibration 이해
		13:30 ~ 17:30		Expose / Development			Expose / Development / 개별 공정 실습

3일차		10:00 ~ 12:00		Align 공정 이론 및 실습		Align 공정 개념 이해
		13:30 ~ 17:30								Align 공정 실습

 ?2026년 월별 교육 계획 

구 분				접수 일정				교육 일정					비  고
 6월				6월 10일 ~				6월	17일, 18일, 19일			- 교육여건 및 상황에  따라 변동 될 수 있음
															- 7월 직접 사용 라이센스 시험 10일 하루 종일

 7월				6월 23일 ~				7월 7일, 8일, 9일
									※ 직접 사용 라이센스 시험 : 10일

 8월				7월 28일 ~				8월	11일, 12일, 13일

 9월				9월 1일 ~				9월	15일, 16일, 17일

10월				9월 29일 ~				10월	13일, 14일, 15일

?교육장소 : 한국나노기술원(수원 영통 광교로 109) 1층 “3교육실” 및 Fab
?교육지원 : 교육비 및 중식(무료), 수료증 발급, 교재 및 실습기자재 제공
?신청방법 : 홈페이지(www.kanc.re.kr) 접속 > 교육공고 > 교육 신청(네이버 폼 링크)


□ 문 의 처 
   나노인력양성실(김동건책임), 
   TEL - 031-546-6411,
   Email - yuchang.kim@kanc.re.kr